潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子，空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。
空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含塵微粒量多少的程度，含塵濃度高則潔凈度低，含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的，而這種級別又是用操作時間內空氣的計數含塵濃度來表示。
1、儀器設備及環境測量儀器 —— 塵埃粒子計數器
粒子計數器的采集原理是基于光散射原理的，依靠光散射強度和微粒大小的規律，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子計數器的基本原理。
2、采樣點的位置及數量
⑴、測定潔凈度的每次最小采樣量；
⑵、每個潔凈區最少采樣次數為3次，每次持續1分鐘，當潔凈區僅有一個采樣點時，則在該點至少采樣3次；單向流時，采樣探頭指向氣流。如果氣流方向不確定，采樣探頭應垂直向上，采樣位置高度大約在0.8～1.5米高度，為工作區高度，采樣點的選擇要確保均勻分布潔凈室或潔凈區域。
⑶、粒子計數器一般按流量分為0.1CFM（2.83L/min）、1CFM（28.3L/MIN）、50L、100L等標準流量，大部分情況下潔凈室每次采樣1分鐘，每個采樣點采樣3次，3個采樣點以上時，每個采樣點可以采樣2次。空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm—5.0μm，ISO14664要求每個采樣點的采樣量至少為2升，采樣時間最少為1分鐘。采樣前需要計算最少采樣點數，可以按照《潔凈廠房設計規范》GB50073-2013中提供的公式進行計算。
⑷、對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境采樣量很大可采用ISO14644-1附錄F規定的順序采樣法。
3、技術要求
⑴、每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規定的限值；
⑵、全部采樣點的平均粒子濃度N的95%上限值應小于或等于潔凈等級規定的限值。
4、操作過程及判定
⑴、儀器開機后預熱至穩定后，方可按照使用說明書的規定對儀器進行校正，自檢、自校、零計數；
⑵、采樣管口置采樣點采樣時在確認計數穩定后方可開始連續讀數；
⑶、計數器采樣口和儀器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差；
⑷、對于單向流潔凈室采樣口應對著氣流方向對于亂流潔凈室采樣口宜向上采樣速度均應盡可能接近室內氣流速度；
⑸、記錄數據評價。
5、潔凈室空氣中懸浮粒子檢測采樣時應注意的問題
⑴、靜態測試時室內的測試人員不得多于2人測試報告中應標明測試時所采用的狀態；
⑵、對于單向流測試應在凈化空氣調節系統正常運行時間不少于10min后開始非單向流要不少于30min后開始；
⑶、必須按照儀器的檢定周期定期對儀器作檢定。視儀器本身特點、使用頻率、使用環境等決定；
⑷、每個采樣點可按所計算確定的最小采樣量采樣空氣。但一般根據所使用的粒子計數器的采樣量及時間設定通常實際采樣都可能高于最小采樣量。
⑸、測定時，進入潔凈室的人員要穿潔凈服有風淋室要經過風淋室，在室內盡量處于下風處并靜止少動。
