01
廠務系統(tǒng)HOOK UP定義
HOOK UP 乃是藉由連接以傳輸UTILITIES使機臺達到預期的功能。HOOK UP是將廠務提供的 UTILITIES ( 如水,電,氣,化學品等),經(jīng)由預留之UTILITIES連接點( PORT OR STICK),藉由管路及電纜線連接至機臺及其附屬設(SUBUNITS)。
機臺使用這些 UTILITIES,達成其所被付予的制程需求并將機臺使用后,所產(chǎn)生之可回收水或廢棄物(如廢水,廢氣等),經(jīng)由管路連接至系統(tǒng)預留接點,再傳送到廠務回收系統(tǒng)或廢水廢氣處理系統(tǒng)。HOOKUP 項目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUUM，GAS， CHEMICAL D.I ，PCW，CW，EXHAUST，ELECTRIC，DRAIN.
02
GAS HOOK-UP 專業(yè)知識的基礎認識
在半導體廠，所謂氣體管路的Hook-UP（配管銜接）以BuckGas（一般性氣體如CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2等）而言，自供氣源之氣體存貯槽出口點經(jīng)主管線（MainPiping）至次主管線（Sub-MainPiping）之TakeOff點稱為一次配（SP1Hook-up），自TakeOff出口點至機臺（Tool）或設備（Equipment）的入口點，謂之二次配（SP2Hook-up）。
以SpecialtyGas（特殊性氣體如：腐蝕性、毒性、易燃性、加熱氣體等之氣體）而言其供氣源為氣柜（GasCabinet）。自G/C出口點至VMB（Valve Mainfold Box.多功能閥箱）或VMP（Valve Mainfold Panel多功能閥盤）之一次測（Primary）入口點，稱為一次配（SP1Hook-up），由VMB或VMP Stick之二次側(cè)（Secondary）出口點至機臺入口點謂之二次配（SP2Hook-up）。
