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潔凈室的專業劃分
簡單整理了潔凈室的專業劃分：
說明一下：以上專業劃分不含土建、結構和普通裝修。
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各專業的系統組成
一、建筑專業
砌體工程、門窗工程、室內外裝修工程（樓/地面工程、抹灰工程、吊頂工程、輕質隔墻工程）、屋面、油漆涂料工程、防火構造
建筑專業（潔凈裝飾）
潔凈室天花板系統（應注意吊掛荷載標準值）、潔凈室墻系統（含門窗）、潔凈室地面系統（活動地板系統、環氧地面、PVC地面、聚氨酯地面、不銹鋼地面）
潔凈裝飾，簡單的說：墻、頂、地。
輸出：六面圖。
關于“六面圖”，不在今天的討論范圍之內，有機會后面單獨做一個介紹。
潔凈室附屬設備：風淋室、貨淋室、氣閘室、傳遞窗、隧道傳輸型傳遞箱、余壓閥、清掃裝置、無塵衣鞋柜、洗鞋機、無菌自動洗手烘干機、潔凈工作臺、生物安全操作臺、隔離手套箱、潔凈棚
二、暖通專業
一般空調系統、潔凈空調系統、一般通風系統、工藝排風系統、事故通風系統、防排煙系統、空調配管（低溫冷凍水、中溫冷凍水、熱水、蒸汽、熱回收管道）、真空清掃系統
空調冷熱源一般是包含在氣動專業。
機電各專業應注意抗震設計，下面不再重復說明。
三、給排水專業
生活給水系統、生產原水供水系統、中水（回用水）供水系統、排水系統、污水系統、雨水系統、工藝循環冷卻水（PCW）系統、純水系統、超純水（UPW）系統、軟化水系統、工藝廢水系統（工藝廢水的種類在<第九章 工藝服務系統>介紹）
消防給水系統：消火栓給水系統、自動噴水滅火系統、FM200氣體滅火系統（氣體滅火系統同屬于第八章 通信專業 生命安全系統的組成部分）
給排水應注意節水節能設計。
四、氣動專業
低溫冷凍水系統、中溫冷凍水系統、常溫循環冷卻水系統、熱回收系統、熱水系統、蒸汽和凝結水系統、天然氣系統、供油系統、工藝真空系統、大宗氣體供應系統（工藝氮氣PN2、工藝氮氣GN2、工藝氫氣PH2、工藝氧氣PO2、工藝氧氣PO2、工藝氬氣PAr、工藝氦氣PHe、壓縮空氣CDA、儀表用壓縮空氣IA、壓縮空氣CDAS）
冷凍水及熱回收系統組成：低溫離心式冷水機組、中溫離心式冷水機組、熱回收型離心式冷水機組、冷凍水一次泵、冷凍水二次泵、熱回收水一次泵、熱回收水二次泵、膨脹水箱、加藥裝置、管道及閥門附件、保冷材料等。
冷卻水系統組成：冷卻水泵，冷卻塔，加藥裝置，沙濾系統，管道及閥門附件等。
熱水系統組成：熱水鍋爐、高熱水循環水泵、熱水循環泵、板式換熱器、定壓補水裝置、管道及閥門附件、保溫材料等。
五、供電專業
供電電源（變電站部分）、供配電系統（高壓配電系統部分）、過電壓保護和接地裝置、廠區供配電線路及戶外照明、建筑物防雷保護
六、電照專業
供配電系統（低壓配電系統部分）、照明系統、應急照明系統、插座系統、動力配電系統、工藝配電系統、接地（綜合接地系統、保護接地、防靜電接地與潔凈室防電磁干擾（EMI）接地、靜電放電）、母線、橋架干線
低壓配電電源分為正常電源N、應急柴油發電機電源E、動態UPS和靜態UPS不間斷電源，其中靜態UPS電源由應急電源E提供，就地設置在負荷較小的建筑中，為控制系統用。應急E電源主要供重要的工藝設備、動力設備、應急照明系統、生命安全系統、控制系統等負荷用電。應急負荷中有一些特別重要的不允許斷電負荷如：部分特別重要的工藝設備、動力設備、消防報警控制及潔凈室應急照明系統、保安系統、廣播系統、IT系統、FMCS監控系統、氣體監測及監控系統等，采用動力站集中設置的動態UPS電源或在廠房內就近設靜態UPS電源來滿足負荷電源的要求。
七、自控專業
全廠動力設施管理與控制系統（FMCS），PLC分布式控制系統結構，其系統主要組成：
1) 控制系統：包括雙冗余PLC控制器、遠程I/O、數據通信網絡、繼電器盤及相應的系統軟件；
2) 人機界面（HMI）：包括用戶操作工作控制站、DATESEVER、工程師工作站、打印機；
3) 現場儀器儀表、執行器；
4) 集線器柜；
5) 控制電纜、網絡線路；
6) 氣控管路及控制組件。
FMCS系統可整合如下控制子系統：
給、排水系統（監視和控制）
一般空調系統（監視和控制）
中央動力系統，包括冰機及冰水系統、冷卻水系統、鍋爐、熱水系統、熱回收系統、燃油系統與天然氣系統（監視和控制）
潔凈室空調系統（監視和控制）
工藝冷卻水/工藝真空/真空清掃系統（監視和控制）
化學品和研磨液分配系統（只監視）
大宗氣體與特殊氣體系統（只監視）
超純水系統（只監視）
廢水處理系統（只監視）
POWER SCADA電力監控系統（只監視）
獨立的控制子系統應設置同樣標準、典型的報警和參數信號。所有獨立子系統調試運行后，經以工業太網連接在一起。所有系統的操作、參數及報警設定可在中央或分操作工作站完成。
就地控制的獨立子系統如：空氣壓縮機、冰機、鍋爐、洗滌塔等設備自帶控制盤，經FIELD BUS或I/O口連接到PLC控制系統。
FFU由專門獨立的計算機控制系統來控制，每一個FFU可由專門的PC進行速度控制和監視。數據傳送采用就地開放式LON網絡協議，每一個FFU單元可通過PC屏幕顯示的不同數字編號和網格來標識。FFU的供電由專用的配電盤提供。FMCS只是監視FFU系統。
八、通信專業
生命安全系統：火災報警及聯動控制系統、極早期煙霧探測系統（也叫空氣采樣探測報警系統）、特氣探測報警控制系統、可燃氣體泄漏報警系統、氣體滅火系統、廣播系統、防火門監控、電氣火災監控及消防電源監控系統、大空間主動噴水滅火系統、消防電源監控系統；
電話/網絡綜合布線系統：行政辦公網、生產設備MES管理網、弱電設備網、無線覆蓋網等；
安保系統：安保集成網絡系統、門禁控制一卡通系統、閉路電視監控系統（CCTV）、廠區周界報警系統。
九、工藝服務系統
特殊氣體供應系統：C4F6、CH2F2、CH3F、CH4、SiH2Cl2 (DCS)、SiH4、CO、B2H6、PH3、AsH3、BCl3、Cl2、HBr、CH4、HF、SO2、WF6、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne、He/N2、C4F8、CF4、CHF3、CO2、He/O2、Ar/Xe/Ne、SF6、Kr/Ne、NF3、SiCl4、SiF4、NO、F2/N2、H2/N2、N2O、NH3、PD2
化學品供應系統：酸/堿類：H2O2 31%、H2SO4 96%、H3PO4 80%、HCl 36%、HF 49%、HF 5.1%、HNO3 69%、NH4OH 2%、NH4OH 29%、PCMP 5510(CA222)、HF/BTA Mixture (CA120)、EC 3:1、TIMAH、Viaform D18、EKC570 CuSolve、CuSolve EKC580 (CA227)、Nanoplate ST-3200 (CA113）、H3PO4 85%、KDSP-100、NaOH等21種；溶劑類：Ethyllaktat - RER 800、IPA、OPD 4262 (CC215)、PlanarClean(CC218)、CX 100、PGMEA、NE111、BTA0.003%、CLK 888、Ethyllactat - Ethyllaktat Ultragrade、TEOS(CS212)、TEOS(CS123)、TEOS II(CS223)、ACT 970共14種
工藝廢水處理系統：一般酸堿廢水、濃酸廢水、稀酸廢水、濃堿廢水、稀堿廢水、高濃度含氟廢水、低濃度含氟廢水、氨氮廢水、臭氧廢水、高濃度氫氟酸廢水、稀氫氟酸廢水、有機廢水、含銅廢水、綜合廢水等
