控制溫度的目的可對凈化車間帶來好處
凈化車間與普通車間不同之處就在于內部的空氣質量的潔凈度。濕度控制它是凈化車間生產必須具備的重要條件，相對濕度是凈化車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件。
打比方在大型集成電路生產的光刻環光工藝中，玻璃和硅片作為掩膜板數據的熱膨脹系數的差異越來越小。直徑100um硅片，溫度上升1度，導致0、24度um線性膨脹是必要的±0.恒溫1度，共同要求濕度值較低。因為人出汗，以后會污染產品，尤其是鈉的半導體車間，不會超過25度。濕度過高會導致更多的問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會結露。如果發生在精密裝置或電路中，會造成各種事故。當相對濕度達到50%時，很容易生銹。但是，對于大多數，為了防止外部污染侵入，需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。保持壓差一般應符合以下原因:
控制溫度的目的可對凈化車間帶來好處
1.潔凈度等級高的空間壓力高于相鄰潔凈度等級低的空間壓力
2.相通潔凈室之間的門應打開潔凈度等級高的房間
3.青島凈化車間的壓力高于非潔凈空間的壓力。保持壓差取決于新風量，這應該能夠補償在這種壓差下從縫隙漏出的風量。因此，壓差的物理含義是通過潔凈室各種縫隙泄漏或通風時的阻力。由于潔凈室主要依靠空氣的稀釋來減少室內污染的程度，主要采用通風次數的概念，而不是直接采用速度的概念，但對室內氣流速度也有以下要求:
1.出風口氣流速度不僅太大，與簡單的空調房相比，速度衰減更快，擴散角度更大。
2.吹水平面的氣流速度不能太大，以免吹出表面顆粒回流，造成再污染。
