每一種行業,甚至每一家公司或工廠,對無塵室的要求可能都不一樣。各公司在訂定測試規格時,應依照自己的制程需求,在相關規范里取出自己適用的部份,并要求供貨商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標準,才能真正滿足自己的需求。
作為業主,在制定無塵室的潔凈度等級給工程公司時,可以參考以下幾條:
首先:潔凈度等級定義的模式應為:Class X (at Y μm )
其中 X 是無塵室的等級,例如 100 或 10000 等等,Y是粒徑如 0.2μm , 0.5μm 等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子: Class1 (0.1μm,0.2μm , 0.5μm) 、 Class 100(0.2μm , 0.5μm )、 Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 。在 Classes 100 (M3.5) andGreater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class10,1.... ) ,一般要看多幾個粒徑。
第二:規定無塵室的狀態,
例如:Class X (at Y μm ), At-rest
供貨商就很清楚知道無塵室要在 At-rest狀態下驗收。
第三:自訂微粒濃度上限,一般在 As-built 時無塵室都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低。
例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000), As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000), As-built
這樣做的目的是確保無塵室在 Operational 狀態時,依然有足夠的微??刂颇芰?。